| 仪器名称 | 半导体器件测试探针台 Probe station for semiconductor device measurement |
| 规格型号 | Lake Shore CRX-6.5K |
| 仪器放置位置 | 厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼洁净室 |
| 仪器功能介绍 | 半导体器件测试探针台可以进行基础的电学测试，测试场效应晶体管的饱和漏电流、夹断电压、开启电压、低频跨导等场效应管的重要参数；该设备还可以完成光电探测器方面的测试，特定的探针臂带有可调波长及可调光功率的光纤，可以测试样品在不同光功率下的转移曲线和传输曲线；该设备同时可以进行在低温及高温的变化温度下对样品的分析测试，低温下测试的样品可以减小热扰动对于测试结果带来的不准确性。 |
| 性能指标 | 1.温度范围：10K-350K； 2.控温稳定性：优于±100mk； 3.光分辨率：优于4μm； 4.探针臂的可三维移动 X方向不小于51mm Y方向不小于25mm Z方向不小于18mm 5.漏电流：<100fA |
| 样品要求 | 尺寸不超过30mm的器件 |
| 仪器说明 | 主机系统配了5根电学测试探针臂，供操作者在低温测试的环境下获取测试器件的电学IV，CV性能，一根光学探测探针臂，同时可测量器件的光电性能。此外，该设备与半导体参数仪联用，可直接用半导体分析仪控制半导体器件测试探针台的温度，可对制得器件的电学性质进行表征和测试分析。 |
仪器描述参考：
The electrical properties of the perovskite transistors were measured by a semiconductor parameter analyzer (Keithley 4200) equipped with a liquid helium probe station (Lakeshore CRX 6.5 K)..
采用配备液氦探测站（Lakeshore CRX 6.5 K）的半导体参数分析仪（Keithley 4200）测量钙钛矿晶体管的电学性能。
