J.A.Woollam
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2022-01-26
美国
芷云光电有限公司
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1、氘灯、卤素灯（光源） 2、自动变角器、微光斑（聚焦件）、12英寸的自动平移台
1、光谱范围193~1000nm 2、自动xy样品台12英寸圆托盘 3、普通光斑4mm直径、微光斑300μm直径 4、自动变角45~90°，变角准确性0.02°
序号 | 名称 | 技术参数 | 备注 |
1 | 光谱范围 | 193~1000nm | / |
2 | 光源 | 氘灯（10W）+卤素灯（20W） | / |
3 | 光谱测试间隔 | 1nm（测试数据点800个） | / |
4 | 自动变角 | 45~90度自动变角，变角准确性0.02度，重复性0.01度 | / |
5 | 自动平移 | 自动XY样品台（12英寸圆样品托） 300mm X/Y自动平移，最小步长2.5μm | / |
6 | Z轴 | 自动移动，最大行程18mm，最小步长1μm | / |
7 | 光斑尺寸 | 普通光斑4mm直径，微光斑300μm直径 | / |
8 | 测量参数 | 分光椭偏: Ψ：(0-90°) 和 Δ：(0-360°) N, C, 和 S 强度：透射及反射百分比 退偏振：退偏振百分比 广义椭偏： AnE, Asp,和Aps (广义琼斯矩阵的3个量) 穆勒矩阵： 穆勒矩阵的所有15个归一化元（对m11归一化） | / |
9 | 测量时间 | 单点标准椭偏测量最快0.3秒，典型测量时间为1~5秒 | / |
10 | 测试准确性 | 在直射状态下，测量空光束 Ψ：45 ± 0.02° Δ：0 ± 0.05° 退偏振: 0% ± 0.5% 15个归一化穆勒矩阵元 对角线: 1 ± 0.002 非对角线: 0 ± 0.002 *10秒平均时间测量，95％的被测波长满足该指标 | / |
11 | 厚度的测量重复性 | 膜厚测量优于0.005nm（30次SiO2厚度测量的标准偏差，样品为带有自然氧化层的硅片） | / |
12 | 折射率n的测量重复性精度 | 折射率n（632.8nm）≤0.0005（30次石英基底的标准偏差1δ） | / |
13 | 俯仰调节 | 手动俯仰调节，内置四象限探测器辅助，用于调整楔形样品，调准样品的表面的俯仰度 | / |
14 | 样品固定方式 | 真空吸附固定 | / |
15 | 面扫描 | 适用 | / |
1.多角度测量材料反射率
2.测量材料光学常数
3.单点或者面扫测量薄膜厚度及均匀性
1.测量透明材料或半透明材料的膜厚、折射率、消光系数、介电常数、反射率等；
2.样品最大支持12英寸，向下兼容，高度需小于1.7cm；
3.测量波长范围193nm~1000nm，间隔1nm；
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09:00-12:00;14:00-18:00
0.25 小时
168 小时
0.25 小时
未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时
未授权: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点
30 分钟
30 分钟
30 秒
5 秒
120 秒
5 次/天
1440 分钟
| 用户资格 | 工作时间 | 非工作时间 |
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| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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