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仪器名称：电子束曝光系统
主要仪器管理员：王雅思
考试时间：2021-07-14 00:00 - 2033-12-31 23:59
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仪器名称：原位共聚焦显微拉曼光谱仪（LabRAM HR Evolution）
主要仪器管理员：黄声超
考试时间：2020-10-12 00:00 - 2033-12-31 23:59
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仪器名称：半导体器件测试探针台
主要仪器管理员：张灿坤
考试时间：2021-07-14 00:00 - 2033-12-31 23:59
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仪器名称：激光直写光刻机
主要仪器管理员：陈莎莎
考试时间：2021-07-14 00:00 - 2033-12-31 23:59
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仪器名称：精密砂轮划片机
主要仪器管理员：陈海城
考试时间：2021-07-14 00:00 - 2033-12-31 23:59
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仪器名称：台阶膜厚仪
主要仪器管理员：林俊江
考试时间：2021-07-14 00:00 - 2033-12-31 23:59
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仪器名称：多功能焊线机
主要仪器管理员：林俊江
考试时间：2021-07-14 00:00 - 2033-12-31 23:59
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仪器名称：电感耦合等离子体增强型化学气相沉积系统（PECVD）
主要仪器管理员：林露根
考试时间：2021-07-14 00:00 - 2033-12-31 23:59
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仪器名称：电感耦合等离子刻蚀机
主要仪器管理员：陈海城
考试时间：2021-07-14 00:00 - 2033-12-31 23:59
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仪器名称：电子束蒸发薄膜沉积系统
主要仪器管理员：何剑波
考试时间：2021-07-14 00:00 - 2033-12-31 23:59
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