聚焦离子束扫描电子显微镜

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场发射扫描电子显微镜G360

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电感耦合等离子体增强原子层沉积系统（PEALD）

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化学气相沉积CVD

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普通车床

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线切割

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普通铣床

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数控车床

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数控铣床

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原子力显微镜

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单分子超快光电测试系统

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倒置式共聚焦显微拉曼光谱仪（Renishaw）

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激光共聚焦拉曼显微镜（Nanophoton）

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快速成像共焦显微拉曼光谱仪（WITec）

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全自动拉曼光谱仪（XploRA）

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分子束外延薄膜制备系统

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