电感耦合等离子体增强原子层沉积系统（PEALD）

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化学气相沉积CVD

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原子力显微镜

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分子束外延薄膜制备系统

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晶圆级键合机

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金相显微镜

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晶圆级对准光刻机

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匀胶机

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电子束曝光系统

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半导体器件测试探针台

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激光直写光刻机

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精密砂轮划片机

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台阶膜厚仪

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多功能焊线机

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电感耦合等离子体增强型化学气相沉积系统（PECVD）

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电感耦合等离子刻蚀机

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