电感耦合等离子体增强原子层沉积系统(PE...

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 翔安校区 > 能源材料大楼 > 1139

化学气相沉积CVD

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼洁净室实验1

原子力显微镜

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验4

分子束外延薄膜制备系统

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼5号楼5137

晶圆级键合机

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 洁净室实验室2

金相显微镜

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 微纳加工洁净室2

晶圆级对准光刻机

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 洁净室实验室2

匀胶机

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验2

电子束曝光系统

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼1139实验室4

半导体器件测试探针台

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验室4

激光直写光刻机

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验2

精密砂轮划片机

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 厦门大学翔安校区能源材料1号楼1139

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