电感耦合等离子刻蚀机

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 厦门大学翔安校区能源材料1号楼1139

电子束蒸发薄膜沉积系统

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼一号楼洁净室实验1

原子层沉积系统

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼一号楼洁净室实验1

聚焦离子束纳米成像与加工系统

仪器分类: 无噪声实验室

放置房间号: 能源材料大楼1号楼负1楼FIB实验室

X射线光电子能谱仪(XPS)

仪器分类: 谱学分析平台

放置房间号: 能源材料大楼5131

X射线成像检测系统

仪器分类: 谱学分析平台

放置房间号: 能源材料大楼5131

冷冻超薄切片机

仪器分类: 电子显微平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼1162-4

精研一体机

仪器分类: 电子显微平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼1162-4

三离子束切割机

仪器分类: 电子显微平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼1162-4

同步热分析质谱联用仪

仪器分类: 谱学分析平台

放置房间号: 能源材料大楼1260室

高分辨环境控制原子力显微镜

仪器分类: 无噪声实验室

放置房间号: 能源材料大楼1号楼无噪声实验室1046

紫外可见近红外分光光度计

仪器分类: 谱学分析平台

放置房间号: 能源材料大楼1# 1254-1260室

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