超快激光三维微纳刻蚀平台

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 1161

大型电子束曝光系统

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼1139实验室5

化学气相沉积CVD

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼洁净室实验1

丙酮取液器

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 厦门大学翔安校区能源材料1号楼1139

乙醇取液器

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 厦门大学翔安校区能源材料1号楼1139

双光子微纳3D打印系统

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验2

硅晶圆激光隐形切割机

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 厦门大学翔安校区能源材料1号楼1139

光谱椭偏仪

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼洁净室实验1

热蒸发薄膜沉积系统

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼洁净室实验1

芯片裂片机

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 翔安校区能源材料大楼1139实验室1

原子力显微镜

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验4

湿法腐蚀机

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 厦门大学翔安校区能源材料1号楼1139

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