双光子微纳3D打印系统

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 洁净室实验室2

硅晶圆激光隐形切割机

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼一号楼1139实验室6

光谱椭偏仪

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼洁净室实验1

热蒸发薄膜沉积系统

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼洁净室实验1

芯片裂片机

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 翔安校区能源材料大楼1139实验室1

原子力显微镜

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验4

湿法腐蚀机

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼清洗间

RCA清洗机

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼清洗间

甩干机

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 厦门大学翔安校区能源材料大楼1号楼清洗间

分子束外延薄膜制备系统

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 能源材料大楼5号楼5137

晶圆级键合机

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 洁净室实验室2

金相显微镜

仪器分类: 微纳加工平台

放置房间号: 微纳加工洁净室2

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