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仪器分类: 全部无噪声实验室电子显微平台谱学分析平台微纳加工平台 Micro LED技术创新平台智算中心燃料电池膜电极工况测试平台金工室

所属单位: 全部石墨烯工程与产业研究院嘉庚创新实验室

预约模式: 全部按时预约项目委托

共享仪器: 全部厦大化学院共享仪器

无机清洗台2

仪器分类：微纳加工平台

放置房间号：厦门大学翔安校区能源材料1号楼1139

无机清洗台1

仪器分类：微纳加工平台

放置房间号：厦门大学翔安校区能源材料1号楼1139

电子束曝光系统

仪器分类：微纳加工平台

放置房间号：能源材料大楼1号楼1139实验室4

半导体器件测试探针台

仪器分类：微纳加工平台

放置房间号：能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验室4

激光直写光刻机

仪器分类：微纳加工平台

放置房间号：能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验2

精密砂轮划片机

仪器分类：微纳加工平台

放置房间号：厦门大学翔安校区能源材料1号楼1139

台阶膜厚仪

仪器分类：微纳加工平台

放置房间号：能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验1

多功能焊线机

仪器分类：微纳加工平台

放置房间号：能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验3

电感耦合等离子体增强型化学气相沉积系统

仪器分类：微纳加工平台

放置房间号：能源材料大楼1号楼微纳制造中心实验1

电感耦合等离子刻蚀机

仪器分类：微纳加工平台

放置房间号：厦门大学翔安校区能源材料1号楼1139

电子束蒸发薄膜沉积系统

仪器分类：微纳加工平台

放置房间号：能源材料大楼一号楼洁净室实验1

原子层沉积系统

仪器分类：微纳加工平台

放置房间号：能源材料大楼一号楼洁净室实验1

友情链接: 厦门大学; 嘉庚创新实验室; 厦门大学实验室与设备管理处; 厦门大学石墨烯工程与产业研究院; 厦门大学化学化工学院; 固体表面物理化学国家重点实验室（厦门大学）

联系我们: 联系电话: 0592-2882511/0592-2882512; 电子邮箱: ikkem-emo@xmu.edu.cn; 联系地址: 厦门市翔安区翔安南路厦门大学翔安校区能源材料大楼

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